我国TFT-LCD产业近年来发展迅猛，投资规模逐年加大，而投资的主要部分用于TFT-LCD工艺设备的采购。来自DisplaySearch的统计数据表明，2006年全球对液晶设备的投资高达118亿美元。因此，很多设备生产厂商对这个市场趋之若鹜。包括应用材料、东京电子这样的顶级半导体设备公司，已经将触角伸向TFT-LCD市场，他们成立下属公司专门负责TFT-LCD设备的生产销售及技术支持。可喜的是国内设备厂商的设备也已进入液晶大生产线，虽然所占比例很小，但毕竟迈出重要一步。

　　国产TFT-LCD设备崭露头角

　　TFT-LCD设备由于其工艺性要求高、制造难度大，一直被国外少数公司垄断。近年来由于我国设备厂商技术水平的不断提升，相继研制生产出部分LCD制造设备及测试仪器。测试仪器以高校和研究所为主，如清华大学、长春物理所都开发生产了如液晶盒厚测量仪、液晶光电参数测试仪等测试设备；制造设备从最初的玻璃切割机、偏光片切割机、灌晶机等单台设备，发展到可以生产成套的TN用清洗等前段设备和对摩擦线、板线等要求更高的设备。

　　由北京七星华创电子股份有限公司(以下简称七星电子)研制成功的具有自主品牌的TFT-LCD五代生产线设备已在国内液晶大生产线投入使用。其中自动移载机已于2006年7月交付京东方TFT—LCD五代线使用，目前运转正常，使用效果良好；CELL段清洗机零部件本地化加工超过80%，2006年8月底也已在京东方五代线安装完毕，并于9月30日正式投入使用，目前运行良好。据了解，七星电子根据我国未来TFT-LCD生产线的建设趋势，已开始着手设计六代线的移载/传送类设备，六代线的其他设备也将陆续开始研发。此外，清大天达OEM的五代摩擦机已进入五代TFT-LCD生产线。山西太原中电科技集团第二研究所生产的COG设备已经进入日资企业的生产线使用。

　　中国电子专用设备工业协会秘书长金存忠表示，在TFT-LCD液晶显示器市场迅猛增长的推动下，今年我国将有一批TFT-LCD前工序的新设备进入大生产线，这必将带动我国TFT-LCD液晶显示器其他生产设备的发展。

　　应遵循从后到中到前步骤

　　尽管国产设备已进入国内大生产线，但我国内地液晶设备就其规模和水平来看，与LCD器件和相关材料比，仍显得滞后一些。国内设备目前仍停留在比较低端、分离单台产品阶段，面板生产线上的系统成套设备、高端前工序核心设备及测试装备只能依赖进口。同时，在进口的核心设备上，不少关键零部件还必须再依赖进口，这将导致工厂的后续服务成本偏高，而且还必须受制于人。因此发展液晶产业，作为为其配套的设备业要得到发展，还需要各方面给予更多的支持和关注。

　　业内专家给出建议，国内企业应从TFT-LCD后工序设备入手，重点在TFT-LCD移载设备、清洗设备、摩擦线设备、COG设备和TFT薄膜沉积设备等方面形成配套能力；积极开展6代面板生产线阵列等前道工艺设备的研究开发，重点提高湿/干法刻蚀机、液晶灌注机等研制水平。

　　七星电子袁国林告诉记者，TFT-LCD生产设备对于TFT-LCD产业至关重要，TFT-LCD生产设备固化了很多生产工艺，只有好的设备，才能生产出好产品。TFT-LCD生产设备技术含量和自动化程度都很高，由于国内现有技术水平的限制，国产设备进入大生产线还需要有一个过程。

　　他建议，应组织面板生产企业、设备研制企业、相关研究机构及科研院所形成产业集群，给产业整体发展提供良好的合作环境；还应出台相关的鼓励政策，在资金、税收、金融、人才等方面扶持本国TFT-LCD设备研制相关企业的发展，同时，吸引国外设备企业与国内企业的技术合作，促进国内企业的尽快成长。此外，企业自身应加强与国内外企业和科研单位的交流，争取获取更多的技术交流与商业合作机会。

　　设备的本土化是每个液晶生产企业必须要走的路。北京清大天达副总经理王跃光介绍说，目前，韩国设备的本土化率已经达到50%，到2010年将达到80%左右。而我国台湾液晶生产设备的本土化率也已达到30%，未来几年将达到50%以上。和他们相比，我国液晶生产设备不足2%的市场占有率显得微不足道。他表示，虽然我国液晶生产设备起步较晚，但是我国在TN、STN、CSTN设备上是有一定基础的，国产设备覆盖率已达80%，且均有自主知识产权，其典型产品有盒厚测量、摩擦、切割、灌晶除泡等设备。而TFT设备尚存在一定差距，但也不必从头开始，而是可以通过合资、合作或引进的方式，迅速进入角色，从而缩短与国际厂商之间的距离。TFT-LCD设备也同半导体设备相似，国内企业也应从后道工序着手进入，因其技术含量相对前道来讲低，进入门槛相对较低，因此，国内企业应从此进行突破，循序渐进，逐步覆盖TFT-LCD生产线从后到前整个设备。

　　业内专家接受《中国电子报》记者采访时表示，虽然目前国内生产设备已进入液晶生产线，但所占的份额远远没有达到大家的预期。因此，要改变现状，需要在研发上得到政府及各方更大力度的支持和企业执着的推进，设备厂商应与面板厂商密切合作，建立联盟，力求从研发开始与面板厂商合作。

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